氧气流量计价格-安徽氧气流量计-山西仁荷微科技公司

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氧气流量计生产过程是什么？

(1)测量待测气体的流量，其中热元件是掺杂有高浓度杂质的硅(si)半导体膜，氧气流量计选型，并且气体流量计包含屏蔽层，该屏蔽层布置为硅(si)半导体膜的上层和下层，并且形成在至少覆盖腔室的区域中。在热处理的生热温度范围内，屏蔽层的渗透性较低并吸收氢。

利用这种配置，可以通过使用屏蔽层来减少热元件的电阻值的老化变化和气体流量计的老化变化。

(2)在上述气体流量计(1)中，屏蔽层可以包括化学计量稳定的氮化硅(si3n4)膜。

(3)在上述气体流量计(1)中，优选的是，硅(si)半导体膜是施加有杂质的多晶硅(si)半导体膜，氧气流量计价格，并且多晶硅(si)半导体膜掺杂有高浓度的磷(p)或硼(b)作为杂质。

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